砷化氫|砷烷的產(chǎn)品參數(shù)介紹
- 發(fā)布時(shí)間：2023-04-24
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砷化氫是在電子氣體中用途十分廣泛，技術(shù)難度非常大的烷類氣體，是光電子，微電子重要的原材料，也是有機(jī)合成、標(biāo)準(zhǔn)氣制備的重要化學(xué)物質(zhì)，是N型摻雜極為重要的摻雜劑，砷烷還原性強(qiáng)，遇光能迅速分解。主要應(yīng)用于擴(kuò)散、外延生長、離子注入、化合物半導(dǎo)體用氣體、化學(xué)氣相淀積。
技術(shù)指標(biāo)
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產(chǎn)品規(guī)格 |
99.999% |
99.99995% |
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氬氣（Ar） |
＜50ppb |
/ |
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氮?dú)猓?/span>N2） |
＜100ppb |
＜2ppm |
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氧氣（O2） |
＜40ppb |
＜1ppm |
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二氧化碳（CO2） |
＜40ppb |
＜0.5ppm |
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一氧化碳（CO） |
＜10ppb |
＜1ppm |
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甲烷（CH3） |
＜10ppb |
/ |
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乙烷（C2H6） |
＜25ppb |
/ |
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丙烷(C3H8) |
＜25ppb |
/ |
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總烴THC |
/ |
＜0.5ppm |
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磷烷（PH3） |
＜50ppb |
＜1ppm |
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水份（H2O） |
＜100ppb |
＜2ppm |
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鍺烷（GeH4） |
＜50ppb |
/ |
