硅烷在高科技中被廣泛應用并變得越來越重要，與其特性有關(guān)，也與現(xiàn)代高科技的特殊要求有關(guān)。通過熱分解或與其他氣體發(fā)生化學反應，硅烷可以制備單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物質(zhì)。硅烷可以實現(xiàn)最高的純度、最精細的控制(達到原子大小)和最靈活的化學反應。因此，可以根據(jù)各種需要將各種含硅材料制成復雜精細的結(jié)構(gòu)，這是具有各種特殊功能的現(xiàn)代材料和器件所需要的基本條件。

硅烷的另一個應用是非晶半導體非晶硅。與單晶半導體材料相比，非晶硅的特點是容易形成極薄(約10nm厚)的大面積器件?；卓梢允遣Ａ?、不銹鋼甚至塑料，表面可以是平面或曲面，因此可以制成各種性能優(yōu)異的器件。

硅烷已成為半導體微電子技術(shù)中最重要的特種氣體，用于制備各種微電子薄膜，包括單晶薄膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金屬硅化物等。硅烷的微電子應用仍在向縱深發(fā)展:低溫外延、選擇性外延和異質(zhì)外延。不僅適用于硅器件和硅集成電路，也適用于化合物半導體器件(砷化鎵、碳化硅等。).它還可以用于超晶格量子阱材料的制備?？梢哉f，幾乎所有現(xiàn)代先進的集成電路生產(chǎn)線都需要硅烷。硅烷的純度對器件性能和良率影響很大，更高檔的器件需要更高純度的硅烷(包括二硅烷和丙基硅烷)。

硅烷作為含硅膜和涂層的應用已經(jīng)從傳統(tǒng)的微電子工業(yè)擴展到鋼鐵、機械、化工、光學等各個領(lǐng)域。含硅涂層可以將普通鋼材的高溫抗氧化性提高到10萬倍以上，還可以大大提高其他金屬的高溫化學穩(wěn)定性，明顯增強內(nèi)燃機葉片的耐腐蝕性，大大提高各種材料與零件之間的結(jié)合強度，延長汽車發(fā)動機零件的使用壽命，改變玻璃的反射和透射性能，從而達到顯著的節(jié)能和裝飾效果。在浮法玻璃生產(chǎn)過程中，用硅烷在玻璃表面涂上一層反光層，附著力強，在陽光長期照射下不褪色，透光率僅為普通玻璃的1/3。氮化硅涂層大面積多晶硅電池(BSNSC)實現(xiàn)了15.7%的高效率。利用硅烷氣相沉積技術(shù)制作的各種含硅膜在高科技中的應用日益增多。

硅烷的另一個潛在應用是制造高性能陶瓷發(fā)動機零件，特別是使用硅烷制造硅化物(Si3N4、SiC等)的技術(shù)。)微粉越來越受關(guān)注。美國、日本和其他國家正在花費數(shù)十億美元開發(fā)由硅、氮化硅和碳化硅微粉制成的耐高溫、高強度和高化學穩(wěn)定性的陶瓷。硅烷氣相反應制備的微粉純度最高，顆粒細小均勻，可大大提高陶瓷零件的性能。它的應用領(lǐng)域非常廣泛。比如汽車發(fā)動機的閥門、渦輪增壓器的轉(zhuǎn)子已經(jīng)投入實際使用，高速軸承、高性能切削刀具已經(jīng)商品化。用于內(nèi)燃機時，可使工作溫度高達1400℃，大大提高熱機效率，適用于各種燃料，延長使用壽命。此外，它還可以用作火箭的隔熱瓦和隱身保護層。