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電子特氣行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈介紹

  • 發(fā)布時間:2022-11-07
  • 發(fā)布者: 本站
  • 來源: 原創(chuàng)
  • 閱讀量:

根據(jù)制備方法和應(yīng)用領(lǐng)域的不同,工業(yè)氣體可分為大宗氣體和特種氣體。大宗氣體主要包括氧氣、氮氣、氬氣等空氣分離氣體和乙炔、二氧化碳等合成氣體。特種氣體種類繁多,主要包括電子特種氣體、高純氣體和標準氣體。

指南


特種氣體是電子氣體的一個重要分支,是集成電路、顯示面板等電子行業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的原料。特種氣體種類繁多,廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積和摻雜等領(lǐng)域。它們被稱為集成電路、液晶面板、led和光伏等材料的“食物”和“來源”,決定著器件的最終成品率和可靠性。電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子及相關(guān)太陽能電池等高科技行業(yè),或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化和清洗,或用作載氣、保護氣氛等。隨著半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向高性能、高集成度發(fā)展,對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的凈化變得越來越關(guān)鍵和重要。


電子特氣的上游多為III(硼、鋁、鎵)、IV(碳、硅、鍺)、V(氮、磷、砷)、鹵族元素(氟、氯)的基礎(chǔ)化工產(chǎn)業(yè),下游在集成電路、面板、led等領(lǐng)域的各個工藝環(huán)節(jié)有著多種用途。電子特種氣體是生產(chǎn)集成電路、顯示面板等電子行業(yè)不可缺少的原材料。2021年,電子特種氣體在集成電路中的應(yīng)用占43%,其次是顯示面板,占21%,LED和光伏,分別占13%和6%。主要應(yīng)用環(huán)節(jié)包括離子注入、刻蝕、氣相沉積和摻雜。


集成電路是電子特氣主要下游應(yīng)用,21年占比達43%。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是中國國民經(jīng)濟的基礎(chǔ)性和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。在政策加持下,打造“中國芯”、實現(xiàn)進口替代的緊迫性和重要性不斷加強。2011年,中國大陸的晶圓產(chǎn)能僅占全球的9%,2021年已經(jīng)達到16%。預(yù)計2024年將達到19%,產(chǎn)業(yè)鏈逐漸向中國轉(zhuǎn)移。據(jù)統(tǒng)計,2021-2022年,全球新增晶圓廠29家,其中中國大陸8家,占比27.59%。


從電子特種氣體產(chǎn)業(yè)鏈來看,氣體原料和化工原料是電子特種氣體的主要生產(chǎn)原料;氣體是電子特種氣體的重要生產(chǎn)設(shè)備。此外,由于氣體產(chǎn)品多為危險化學(xué)品,運輸環(huán)節(jié)對鋼瓶的需求也必不可少。

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