三氟化硼是一種無機化合物，化學(xué)式為BF3，是一種無色氣體，具有刺激性氣味、毒性、腐蝕性和窒息性。三氟化硼溶于冷水，溶于某些有機溶劑，易水解。能分解潮濕空氣中的劇毒氟煙，遇水會劇烈反應(yīng)生成氟硼酸和硼酸。能腐蝕玻璃和多種金屬，遇有機物反應(yīng)劇烈。三氟化硼是一種危險的化學(xué)物質(zhì)。

三氟化硼制備方法主要包括:以三氧化二硼/硼酸鹽和氟化氫為原料進行反應(yīng)；以硼和氟為原料反應(yīng)制得；以硼碳混合物和氟氣為原料反應(yīng)制得；以硼砂和螢石的混合物為原料，與濃硫酸反應(yīng)。以硼酐和氟硼酸鉀為原料，與濃硫酸反應(yīng)得到產(chǎn)品。采用熱分解法制備氟硼酸鈉。

三氟化硼常用作半導(dǎo)體材料、火箭高能燃料、有機合成催化劑、硼同位素分離原料、化學(xué)合成原料、金屬合金抗氧化劑、環(huán)氧樹脂固化劑等。高純?nèi)鹂捎糜诎雽?dǎo)體工業(yè)，如摻雜、離子注入、氧化擴散、等離子體刻蝕、硅/鍺外延生長等。作為三氟化硼摻雜的重要應(yīng)用領(lǐng)域之一，它是一種常用的硼摻雜產(chǎn)品，可以增強硅片的電學(xué)性能，主要用于P型半導(dǎo)體的生產(chǎn)。

根據(jù)新思杰產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的報告，我國對三氟化硼的研究始于20世紀50年代，光明化工研究設(shè)計院是最早研究三氟化硼的機構(gòu)，主要以高能燃料用三氟化硼為主。隨著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展和規(guī)模的不斷擴大，中國市場對電子級高純?nèi)鸬男枨蟛粩嗌仙?，高純?nèi)鹕a(chǎn)的技術(shù)壁壘高，導(dǎo)致國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量少，產(chǎn)能小，遠遠不能滿足國內(nèi)市場需求。尤其是電子級三氟化硼產(chǎn)能較弱，需求主要依賴進口。未來我國三氟化硼行業(yè)發(fā)展空間很大，但作為危險化學(xué)品，其生產(chǎn)對企業(yè)的技術(shù)和資質(zhì)要求很高，弱勢企業(yè)很難進入布局。