三氯化硼，化學(xué)式為BCl3，外觀為無色發(fā)煙液體或氣體，有刺激性和酸味，有毒，屬于危險(xiǎn)化學(xué)品。三氯化硼易潮解，遇水分解成氯化氫和硼酸，溶于醇，分解成鹽酸、硼酸酯，溶于苯、二硫化碳等一些有機(jī)溶劑。電子級(jí)三氯化硼是用于半導(dǎo)體和集成電路領(lǐng)域的高純度三氯化硼，其純度需要達(dá)到99.999%以上。

電子級(jí)三氯化硼用于電子工業(yè)，可用于半導(dǎo)體硅器件和集成電路制造過程中的離子注入、擴(kuò)散摻雜、干法刻蝕等環(huán)節(jié)?？捎糜阡X、二硅化鉬、二硅化鎢、鈦硅合金等金屬、金屬化合物、合金材料的蝕刻，具有很強(qiáng)的不可替代性。電子級(jí)三氯化硼的雜質(zhì)含量和純度直接影響半導(dǎo)體器件和集成電路的性能指標(biāo)和良率。其純度要求在5N以上，生產(chǎn)技術(shù)壁壘高。

三氯化硼的生產(chǎn)是在惰性氣體環(huán)境中，在一定的溫度條件下，以硼粉和氯氣為原料，反應(yīng)得到粗品，然后精餾得到三氯化硼。電子級(jí)三氯化硼在精制三氯化硼的基礎(chǔ)上，通過吸附、蒸餾等工藝提純得到最終產(chǎn)品。由于技術(shù)壁壘高，2018年之前，我國(guó)沒有電子級(jí)三氯化硼產(chǎn)業(yè)。三氯化硼產(chǎn)能、市場(chǎng)需求依賴進(jìn)口，主要從美國(guó)空氣化工、美國(guó)普萊克斯、英國(guó)中銀集團(tuán)等公司進(jìn)口。

從2018年至今，我國(guó)陸續(xù)有電子級(jí)三氯化硼項(xiàng)目建設(shè)，年產(chǎn)能可以達(dá)到千噸以上。隨著我國(guó)電子級(jí)三氯化硼行業(yè)規(guī)模正在不斷擴(kuò)大，產(chǎn)能正在不斷擴(kuò)張，若生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定能夠達(dá)到下游客戶要求，將逐步得到市場(chǎng)認(rèn)可，在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)中的占有率有望不斷提升。若目前已建成或正在建設(shè)的本土電子級(jí)三氯化硼產(chǎn)能能夠持續(xù)穩(wěn)定供貨，我國(guó)電子級(jí)三氯化硼進(jìn)口依賴度將持續(xù)下降。