三氟甲烷是一種有機(jī)化合物，化學(xué)式為CHF3，常溫常壓下為無色氣體，其性質(zhì)穩(wěn)定，可溶于水，丙酮、無水乙醚、甲醇等部分有機(jī)溶劑，不導(dǎo)電，不可燃燒，但在高溫條件下可受熱分解，分解產(chǎn)物為有毒氟化氫氣體。

根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2021-2025年三氟甲烷行業(yè)深度市場調(diào)研及投資策略建議報(bào)告》顯示，三氟甲烷由于消耗臭氧潛能值（ODP）為零，可取代氯氟烴（CFC）例如CFC-13用作低溫制冷劑、滅火劑。三氟甲烷也可用作超臨界萃取溶劑，以及有機(jī)合成中間體，用來制取四氟乙烯等產(chǎn)品。在電子產(chǎn)業(yè)中，三氟甲烷可用作等離子體化學(xué)蝕刻劑，在二氧化硅膜刻蝕方面具有速度快、選擇性優(yōu)等特點(diǎn)。

我國三氟甲烷生產(chǎn)商主要包括專業(yè)氣體公司和氟化工企業(yè)兩大類，三氟甲烷制取的一個(gè)重要途徑是氟化工行業(yè)副產(chǎn)物提純，是以二氟一氯甲烷R-22（CHClF2）制備過程中的副產(chǎn)物為原料，通過精餾等工藝制得。三氟甲烷雖然不破壞臭氧層，但其全球變暖潛能值（GWP）高，是一種強(qiáng)溫室氣體。與國外企業(yè)相比，國內(nèi)三氟甲烷生產(chǎn)商在高純產(chǎn)品生產(chǎn)方面實(shí)力較弱，電子級三氟甲烷需求對外依賴度較大。在R-22生產(chǎn)過程中，副產(chǎn)物三氟甲烷產(chǎn)量較大，三氟甲烷具有較高利用價(jià)值，若直接銷毀處理不僅浪費(fèi)資源，也不利于企業(yè)提高營收能力，因此副產(chǎn)物回收再利用前景好。如何低成本、高效率的提純得到電子級三氟甲烷是行業(yè)未來發(fā)展所需關(guān)注的重點(diǎn)。