高純硅烷氣體SiH4|甲基硅烷|四氫化硅|硅烷混合氣
硅烷即硅與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物。目前應用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現精細控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業(yè), 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上唯一的大規(guī)模生產粒狀高純度硅的中間產物。硅烷的高科技應用還在不斷出現, 包括用于制造先進陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成為許多新技術、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和極強的燃燒能量,決定了它是一種高危險性的氣體。
產品詳情
中文名 |
硅烷 |
英文名 |
Silane |
別名 |
甲硅烷 |
英文別名 |
Silaneinnitrogen |
CAS |
7803-62-5 |
EINECS |
232-263-4 |
化學式 |
SiH4 |
分子量 |
32.1176 |
InChI |
InChI=1/H4Si/h1H4 |
密度 |
1.114 |
熔點 |
-185℃ |
沸點 |
-112℃ |
產品用途 |
用于集成電路制造、太陽能電池、涂膜反射玻璃等 |
危險品標志 |
F+ - 極易燃物品
Xn - 有害物品
|
風險術語 |
R12 - 極度易燃。 |
安全術語 |
S9 - 保持容器置于良好通風處。 |
危險品運輸編號 |
UN 2203 |
上游原料 |
硅灰 氯化銨 鎂 |
包裝規(guī)格
容器規(guī)格
容器尺寸 (cm)
平均重量 (kg)
閥門/螺紋出口
充裝量
49LDOT硅烷鋼瓶
23×140
70
CGA350/Diss632
10kg、15kg
440L硅烷Y罐
60×180
390
CGA350/Diss632
125kg